Nguồn gốc của gia công bằng tia lửa điện có từ năm 1770, khi nhà khoa học người Anh Joseph Priestly phát hiện ra tác động ăn mòn của tia lửa điện. Năm 1943, các nhà khoa học Liên Xô B. Lazarenko và N. Lazarenko đã có ý tưởng khai thác tác động phá hủy của tia lửa điện và phát triển một quy trình được kiểm soát để gia công các vật liệu dẫn điện. Với ý tưởng đó, quy trình EDM đã ra đời.
Lazarenkos đã hoàn thiện quá trình phóng điện, bao gồm một chuỗi các lần phóng điện diễn ra giữa hai vật dẫn được ngăn cách với nhau bằng một lớp chất lỏng không dẫn điện, được gọi là chất điện môi. Lazarenkos đã đạt được một dạng bất tử với mạch này, ngày nay mang tên họ. Ngày nay, nhiều EDM sử dụng phiên bản nâng cao của mạch Lazarenko.
Năm 1952, nhà sản xuất Charmilles, vì quan tâm đến phương pháp gia công xói mòn tia lửa điện nên đã tạo ra chiếc máy đầu tiên sử dụng quy trình gia công này và được giới thiệu lần đầu tiên tại Triển lãm máy công cụ châu Âu ở Milan năm 1955.
Vòng điều khiển số và phản hồi với servo cực nhanh được bổ sung vào những năm 1970.
Ngày nay, CAD/CAM 3-D đầy đủ cung cấp mã để điều khiển máy móc với các đặc tính về đường đi và tia lửa.
